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| 多元スパッタリング 超薄膜作製装置 |
フェムト秒パルス・ レーザーシステム |
プラズモン・ヘッド 実験システム |
静電気力顕微鏡 システム |
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| 急速昇温結晶化装置 | ディップ・コーター | スピン・コーター | エキシマ光 照射装置 |
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| 超伝導コイル・振動試料型磁力計VSM | 振動試料型磁力計 VSM |
原子間力/磁気力 顕微鏡 AFM/MFM |
X線回折装置 |
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| 磁気光学効果 測定システム |
エリプソ・メーター | 透過型電子顕微鏡 （先端材料科学センター） | 収束イオンビーム 加工装置 （先端材料科学センター） |